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제품소개

Gas Scrubber
원익홀딩스에서 제공하는 Scrubber는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 사용 후 배출되는 유해가스를 적정기준치 이하로 처리하여 
배출하는 가스 저감 장비입니다.
공정 별 최적의 가스 처리 솔루션을 통해, 공정 가스의 우수한 처리 성능과 By-Products (NOx, THC 등) 저감 기술을 보유하고 있습니다.
국내 최초 Dual EP System을 적용하여 Powder 배출 저감 및 고질적 Powder 막힘 이슈를 해결하고, PM 주기 연장을 통한 안전한 
공정 운영성을 확보할 수 있습니다.
또한, 장비 운영비 저감을 위한 Energy Saving System을 적용하여 소비전력 및 Utility 사용량을 최소화 할수 있습니다.
원익홀딩스 Scrubber는 탄소중립 기반 온실가스 처리 솔루션을 적용하여 안전하고 친환경적인 스크러버 기술을 개발시켜 나가고 있습니다.

제품이미지

KAIROS

제품 특징
  • Plasma를 이용한 PFCs 가스 및 반도체 공정 Gas 처리
  • 최소 전력 사용 가능한 고효율 Plasma Torch 적용
  • Cyclone Overflow Reactor 적용으로 내부 PM 주기 연장
  • Energy Saving을 통한 운영 안정성 및 Utility 절감
  • Dual EP System을 이용한 Powder 배출량 최소화 및 Duct PM 주기 연장 (Powder 발생 공정 특화)
부가 사양
  • Dimension (mm) : 600(W) * 1,100(D) * 1,800(H)
  • Capa : Max. 600LPM (Inlet Gas Flow Capa. 300LPM)
  • Target Process : CVD, DIFF, METAL, Etc