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제품소개

Gas Supply System
원익홀딩스에서 제공하는 Gas Supply System은 반도체, FPD, LED 그리고 Solar 제조 공정에 필요한 특수 가스를 일정한 유량과 압력으로 안전하게 공급하기 위한 장치이며 특수가스의 고압 또는 저압 상태를 공정상 필요로 하는 압력으로 조절하고 미세한 먼지의 발생 억제 및 제거와 누설을 방지하여 내, 외부의 가스 오염원을 차단하면서 고 청정도의 가스를 반도체 제조 설비에 안전하게 공급시켜 주고 휴먼에러를 방지할 수 있는 시스템 제어장치입니다. 세계 유수의 업체, Fab, 연구소 그리고 대학들에 고품질의 Module식 설계 개념이 결합된 시스템을 제공하고 있으며 제품 구성 스펙트럼을 넓혀 사용자 유연성을 향상 시켰습니다.

제품이미지

Gas Cabinet

제품 특징
  • PLC + Touch Screen 기반의 자동화 시스템 (OMRON, AB, SIEMENS)
  • 작동 및 유지보수의 모든 측면에 대해 입증 된 자동화 시퀀스
  • 49 Liter 이하 공급 용기
  • 30SLPM 공급 유량
  • 모든 알람에 대한 사용자 설정 기능
  • 배기 압력 모니터링
  • 비상정지 기능 [EMO]
  • Multi-level password protection
  • 진단 화면
  • DC Power Module 2중화
  • S-Mark 안전인증
  • 특정고압가스 Cylinder Cabinet 안전인증
  • 방폭 인증 (가연성 가스)
  • 내진설계 (리히터규모 7)
부가 사양
  • Weight Scale
  • Heating Line
  • UVIR
  • Jacket Heater
  • High Temp Sensor
  • Valve Shutter
  • Leak Detector
  • Lamp