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제품소개

Gas Purification System
Gas Purification System은 Bulk 또는 특수 가스를 반도체, FPD, LED 그리고 Solar 제조 공정에 적합한 순도로 정제하여 사용자의 품질 조건에 부합할 수 있도록 해 줍니다. 고집적화, 고용량 등 기술 요구사항이 점차 복잡해지면서 이를 저해하는 불순물을 제거하여 고효율, 고수익을 창출하는 것이 관심사항이 되고 있습니다. 원익홀딩스의 정제 시스템은 이러한 추세에 적합한 최적의 장치라고 할 수 있습니다.

제품이미지

ALP Series

제품 특징
  • Sub-ppb 정도의 정제 능력
  • Getter 합금, 부식에 강한 Alumina 그리고 Zeolite와 같은 다양한 흡착제로 구성
제품 사양

제품사양(표)이미지