제품소개
- Precursor Supply System
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Precursor Supply System은 박막 증착을 위한 반도체 CVD 공정상 필요한 Precursor를 일정한 유량과 압력으로 안전하게 공급하기 위한 장치입니다.
본 장치는 Bulk / Process Canister가 설치되어 있어 공정 중단 없이 공급될 수 있도록 설계되어있습니다.
Precursor Supply System
- 제품 특징
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- 가능한 Precursor: TEOS, TICL4, TEB, TEPO, LTO-520, TMB, HCDS, C6H12, 4MS, TBAS, DEZ, LTO-770 & TDMAS
- PLC와 Touch Screen 통한 자동화 시스템