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국내 Gas 장비산업을 선도하는 원익홀딩스입니다.
Gas Supply System
Gas Cabinet, Bundle
BSGS (Bulk Specialty Gas System)
VMB & VMP(Valve Manifold Box & Panel)
Gas Purifier Unit-General
AGT (Getter Type)
AMG & APG (Getter Type)
ALP (Line Purifier)
ACA (Catalyst Absorber)
ACG (Catalyst Absorber)
Special Gas Purifier & Chamber(Glove Box)
Circulation Purifier & Chamber (OLED)
NH3 Purifier(100m3/hr)
Line Purifier(NH3,HCl,TCS etc.)
Precursor Supply System
ARS(Auto Refill System)
Precursor Supply System
(TEOS, LTO520,HCDS, ECH,TICL4 etc.)
Gas Scrubber
Type : Plasma Dual-EP , Plasma Wet
Model : AURA (600L Plasma Wet Scrubber)
Model : KAIROS (600L Plasma Dual-EP Scrubber)
Model : GRANDIS (3000L Plasma Wet Scrubber)
Specialty Gas Piping
Utility Construction
2nd & 3rd Level Piping
GMS (Gas Monitoring System)