제품소개
- Gas Purification System
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Gas Purification System은 Bulk 또는 특수 가스를 반도체, FPD, LED 그리고 Solar 제조 공정에 적합한 순도로 정제하여 사용자의 품질 조건에
부합할 수 있도록 해 줍니다. 고집적화, 고용량 등 기술 요구사항이 점차 복잡해지면서 이를 저해하는 불순물을 제거하여 고효율, 고수익을
창출하는 것이 관심사항이 되고 있습니다. 원익홀딩스의 정제 시스템은 이러한 추세에 적합한 최적의 장치라고 할 수 있습니다.
WCP Series
- 제품 특징
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- OLED 공정을 위해 고순도 Inert 가스를 정제/순환시키는 시스템
- Chamber 내 적정 환경 조성을 위한 Quick purging
- 고순도 Inert 가스를 순환시키며 적정 환경 유지
- 제품 사양
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Chamber
- 제품 특징
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산소 및 수분을 제거하여 요구되는 가스 환경 조성을 위해 고안된 밀폐 설비입니다. 외부 Impurity 접촉 차단을 차단하고 Circulation Purifier와 연결되어 Inert Gas Balance를 조성합니다. Module식 설계가 되어 기존에 사용 중이신 설비에 손쉽게 추가될 수 있습니다.
가스정화 시스템을 선택하거나 일반 응용프로그램과 결합하여 사용 가능합니다.
- Standard Configurations
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- Size : Customized
- Material : Stainless Steel 304 construction
- Leak Rate : <0.05Vol % (acc. ISO 10648-2, Class1)
- Vacuum port and feedthrough
- Inlet/Outlet Filter (Class13)
- Scratch Resistant and anti : UV Polycarbonate windows
- Glove Box gloves (Option : size, materials)
- Glove Box glove port (Option : size, materials)
- Led Lamp
- Stainless Steel Shelving
- Features
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- Add Module Box
- Glove Port
- Stainless Steel Construction
- Polycarbonate Window
- Adjustable Shelving
- Castors for easy mobility
- Anti-Reflection Film
- Leveling Feet
- Option
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- Safety Door Interlock
- Camera
- One Touch Door
- Module Box
- Feedthrough
- Filters (Ulpa, Hepa, Solvent)
- Antechamber
- Stainless Steel Piping
- Inert Gas Purification system
- Equipment
- Freezers
- Evaporators
- View Port
- Vacuum Oven
- Hotplates
- Spin Coaters
- Vacuum Cleaners
- Safety Door Locks
- Oxygen and Moisture Analyzer (Add Port up to 4)
- Auto Purge Function
- Chiller
- Heat Exchanger
- Vacuum Dry pump
- Custom Shelving
- Other Options available