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제품소개

Gas Purification System
Gas Purification System은 Bulk 또는 특수 가스를 반도체, FPD, LED 그리고 Solar 제조 공정에 적합한 순도로 정제하여 사용자의 품질 조건에 부합할 수 있도록 해 줍니다. 고집적화, 고용량 등 기술 요구사항이 점차 복잡해지면서 이를 저해하는 불순물을 제거하여 고효율, 고수익을 창출하는 것이 관심사항이 되고 있습니다. 원익홀딩스의 정제 시스템은 이러한 추세에 적합한 최적의 장치라고 할 수 있습니다.

제품이미지

Solvent Trap

제품 특징
  • OLED 공정 중 Chamber 내 발생하는 VOC를 제거하는 장치
  • Circulation Purifier와 연동하여 사용 가능한 장치
Standard Configurations
  • Manifold : Stainless steel piping
  • Analyzer
  • Absorber Chemical
  • Gate Valve
  • Oil Free Diaphragm pump
  • Regulator
  • Safety Cabinet
  • Air Valve
  • Jacket Heater
  • Flowmeter
  • Pressure Transducer
  • Pressure Gauge
Features
  • 적용가스 : Inert Gas
  • 사용유량 : 80~8000slpm
  • Dimension : Customized
  • PLC : Mitsubishi/Omron
  • Touch Screen : PFX GP-4501-TAD
  • Heater Materials : Inner_Sillica Fiber and Aluminum coating Outer_Sillica Fiber
  • Pneumatic Supply : 70~100psig, Clean Dry Air or N2
  • 배출가스 온도 : <50℃
  • 소음 : <60dB
  • Regeneration Gas : N2 (Hot)
Option
  • Glove Box Integration
  • Customized Size
  • Analyzer Type
  • Regeneration Type (Manual, Full Auto)
  • Single(Manual) / Dual Type (Auto Change)